真空泵是利用機械、物理、化學、物理化學等在某一封閉空間中對容器進行抽氣,以獲得和維持真空的裝置。真空泵和其他設(shè)備(如真空容器、真空閥、真空測量儀表、連接管路等)組成真空系統(tǒng),廣泛應用于電子、冶金、化工、食品、機械、醫(yī)藥、航天等部門。
真空泵按結(jié)構(gòu)類型可分為機械式,噴射式和吸著式,凡是利用機械運動來獲得真空的泵稱為機械真空泵。按其工作原理及機構(gòu)特點分為變?nèi)菡婵毡煤蛣恿總鬏敱?,變?nèi)菔秸婵毡檬抢帽们蝗莘e的周期性變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。這種泵分為旋轉(zhuǎn)式和往復式兩種,旋轉(zhuǎn)式真空泵利用泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)子部件的旋轉(zhuǎn)運動將氣體吸入、壓縮并排出,主要有有以下四 類:(1)液環(huán)真空泵;(2)油封式真空泵;(3)干式真空泵;(4)羅茨真空泵。液環(huán)真空泵將帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)。當它旋轉(zhuǎn)時,把工作液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環(huán),液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的幾個小的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菸艢馇?。工作液體通常為水或油,所以亦稱為水環(huán)真空泵或油環(huán)真空泵。用水作工作液,極限壓強只能達到2000~4000 Pa。用油作工作液,可達130 Pa。文章中油式旋片真空泵屬于液環(huán)真空泵的一種,工作液為真空泵油。
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