結(jié)構(gòu)及原理:
5、圖1是旋片式真空泵泵原理圖,轉(zhuǎn)子3及7與高真空室外1及低真空室6相切,轉(zhuǎn)子3及7沿箭頭方向旋轉(zhuǎn),帶動(dòng)轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動(dòng)的轉(zhuǎn)片旋轉(zhuǎn),由于彈簧9及離心力的作用, 轉(zhuǎn)片外端緊貼高低真空室的內(nèi)表面滑動(dòng),把轉(zhuǎn)子與高低真空室所形成的月洼形空間從進(jìn)氣嘴2到排氣閥門5和從過氣管4到排氣閥門10之間分隔開來,形成二或三個(gè)容積,并且周期性的大小變化,當(dāng)在圖示旋片式真空泵位置繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)A及C容積逐漸增大,被抽容積氣體沒進(jìn)氣嘴進(jìn)入泵內(nèi),同時(shí)B及D容積逐漸減少,壓力升高,隨后沖開排氣閥門5及10,將氣體排出真空室外,氣體經(jīng)過油面而排于大氣之中,因?yàn)橛褪茄妥∨艢忾T的,故能防止氣體返回真空室。當(dāng)抽氣壓強(qiáng)較高時(shí),高低真空室的閥門都排氣,相當(dāng)于單級(jí)泵,當(dāng)真空度較高時(shí),全部氣體進(jìn)入真空室,再由排氣閥門10排出,此時(shí)二級(jí)串聯(lián)即進(jìn)入雙級(jí)泵工作。
如被抽除的氣體中含有較高的蒸汽氣體時(shí),在氣體受到壓縮而其蒸汽的分壓強(qiáng)超過此蒸汽在泵內(nèi)溫度下的飽和壓強(qiáng)時(shí),此時(shí)蒸氣被壓縮成為液體,旋片式真空泵無法排出,而混在真空油內(nèi),使泵的性能大大降低。如果摻入適量的空氣,使蒸汽在受到壓縮時(shí),其分壓強(qiáng)也低于泵溫的飽和壓強(qiáng),則蒸汽在變成液體前就能被排出泵外去,故本系列2X-4以上的泵都裝有能放入一定量氣體的摻氣閥11見圖1
6、2X系列的各種真空泵的外形和結(jié)構(gòu)是基本相同的,泵由電機(jī)經(jīng)三角皮帶傳動(dòng)到轉(zhuǎn)子。電動(dòng)機(jī)和泵用螺釘卡板固定在底盤上。
2X旋片式真空泵由泵體、高轉(zhuǎn)子、低轉(zhuǎn)子、前端板、后端板、高轉(zhuǎn)片、低轉(zhuǎn)片、排氣閥、排氣罩、視鏡等零部件組成。見圖2、圖3。
在2X旋片式真空泵體內(nèi)壓入一個(gè)中隔板、將真空泵殼分成高低真空室,各室都有排氣門,高真空室排氣與低真空氣相通。高轉(zhuǎn)子前端伸出前軸;后端伸出后軸。前軸通過前端板的軸承支持、經(jīng)過油密封室而伸出前端板外:后軸由中隔板上的軸承支持。而伸入低真空室內(nèi),低真空室轉(zhuǎn)子則裝在后軸上、故高低轉(zhuǎn)子均由前軸帶動(dòng)。高低轉(zhuǎn)子都有對(duì)開的槽子,呈“T”形的旋片由彈簧支撐開而裝于槽內(nèi)。2X旋片式真空泵的進(jìn)氣口處有過濾網(wǎng),而排氣口處有擋油網(wǎng),視鏡左邊有摻氣閥,下邊有放油塞。
7、2X旋片式真空泵抽氣過程:見圖2,氣體由進(jìn)氣嘴進(jìn)入高真空室,起初是高壓強(qiáng),高低真空室都充滿大氣,兩個(gè)排氣門都打開排氣。隨著抽氣的進(jìn)行,氣壓下降(即真空度提高),高真空室壓力不足以推開排氣門,氣體經(jīng)中隔板進(jìn)入低真空室,此時(shí)壓力亦不足推開排氣門,但低真空室進(jìn)入有一定量油,幫助推開排氣門,氣體亦隨之排出。排出的氣體平雜著的油粒,經(jīng)擋油網(wǎng)濾而使油分離,只有氣體排出泵外,氣體路徑見圖2。
8、2X旋片式真空泵油密封室里的油,由油池A經(jīng)前端板上的孔供給。低真空室里的油,由油池A經(jīng)后端板上的孔供給。高真空室的油,由中隔板上的孔,循環(huán)供給。2X旋片式真空泵前后端蓋的密封是由泵體上部的油池B經(jīng)泵體端面室的孔而流入油槽進(jìn)行密封。